據(jù)國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心消息，6 月 30 日，由國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心建設(shè)的國(guó)內(nèi)首條 12 英寸先進(jìn)傳感器中試線成功通線。

據(jù)介紹，該中試線以國(guó)產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測(cè)等先進(jìn)傳感器和晶圓級(jí) 3D 集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國(guó)產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。

據(jù)了解到，國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心表示，將在 12 英寸中試線持續(xù)開(kāi)發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。